材料科学姑苏实验室关于CMOS传感器芯片光刻掩膜版及流片项目拟采用单 一来源采购方式专家论证意见公示
发布时间:2021-10-09
中航技国际经贸发展有限公司受材料科学姑苏实验室的委托,于2021年9月15日对其拟采用的单一来源采购方式组织论证,相关内容公示如下:
1、论证人员名单
姓名 | 工作单位 | 职称 | 专业
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焦洪 | 苏州市科技服务中心 | 研究员 | 信息化 |
邵斌 | 苏州科技大学 | 副教授 | 信息化 |
沈晓东 | 苏州天平学院 | 副教授 | 信息化 |
2、采购内容
(1)采购项目简介:
该项目是基于CMOS的图像传感器基础原理的二次开发,需要结合当前的BSI背照式的图像传感器基本性能,对阵像素部分进行二次开发。
(2)采购预算金额:人民币壹佰伍拾万元整(¥1500000.00元)。
3、论证意见
首先需要对去除micro lens和colour filter的CMOS晶圆进行流片,按照我们专利设计的图形样式在像素区做二次开发,分别做氧化层薄膜沉积,化学机械抛光,二氧化硅薄膜沉积,以及光刻图形转移,干法刻蚀加工等工艺.
项目所采购的SC4210型号的8寸晶圆是使用台积电的ASML光刻机进攻对准标记的,由于加工过程中需要掩模版mask的制作,和后续图形OPC的修正来满足不同大小的图形搭配,需要FAB有足够能力的光刻机,特别是ASML的光刻机的 ArF型号是解决特殊复杂图形的关键机台,且需要FAB有CIS全线设计和代工能力,从8寸中试线来看,寻找具有产线和设计规划能力且有完成的上下游配套能力的FAB仍是实验室的核心需求。
基于CUMEC是国内唯一一家8寸CIS中试线厂家,目前CUMEC是国内唯一有OPC修正光刻图形能力的厂家的原因,为此必须由供应商:联合微电子中心有限责任公司来承担此项工作。
全国唯一产品供应商:联合微电子中心有限责任公司。
唯一供应商经营地址:重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号 。
4、公示期限
本公示期自2021年10月9日起至202年10月15日16:00时止。如对以上公示内容存有异议,请于上述公示期限内携书面材料向中航技国际经贸发展有限公司提出,在此期限后提出的异议将不再受理。
5、联系事宜
单位名称 | 联系地址 | 联系人 | 联系电话 |
材料科学姑苏实验室 | 苏州工业园区若水路388号 | 陆宇 | 0512-66600065 |
中航技国际经贸发展有限公司 | 苏州市姑苏区江星路756号天元辰广场902 | 徐亮 | 0512-69290321 |
中航技国际经贸发展有限公司
2021年10月9日